一、光刻机冷却系统冷水机的使用注意事项：

　　1）光刻机冷却系统冷水机组的正?？⑼；?/font>须严格按照光刻机冷却系统冷水机厂家提供的操作说明书的步聚进行操作。

　　2）机组在运行过程中，应及时、正确地做好参数的记录工作，如出现报警?；笆蓖ㄖ喙厝嗽倍曰榻屑觳?，如无法排除故障，可以直接与光刻机冷却系统冷水机厂家联系。

　　3）机组在运行过程中严禁将水流开关短接，以免冻坏水管?；坑τ凶诺墓ぷ魅嗽备涸穑辖性尤嗽苯牖?，操作机组。

　　4）机房应配备相应的靠谱防护设备和维修检测工具，如压力表、温度计等，工具应存放在固定位置。

　　二、光刻机冷却系统冷水机组?；⒁馐孪?/font>

　　1）机组在?；笥η卸现鞯缭纯?。在停机时期间，应该将机组全部遮盖，防止积灰，与机组无关的人员不得接触机器。

　　2）如机组处于长期?；刺诩洌渌?、冷却水系统的内部积水全部放净，防止产生锈蚀。水室端盖应密封住。

　　3）机组长期?；保ψ龊梦薇Ｑぷ?。